来源标题:韩企推进存储半导体技术升级
韩国半导体龙头企业三星电子和SK海力士近期针对第六代10纳米级动态随机存取存储器(DRAM)进行技术升级。
SK海力士于8月底宣布开发出业界首款第六代10纳米级DRAM芯片。该芯片运行速度为8Gbps(千兆比特/秒),与前一代相比速度提高了11%,将主要用于高性能数据中心。SK海力士表示,该芯片比前一代的能效提高了9%以上,在当前人工智能蓬勃发展的时期,可帮助数据中心减少多达30%的电力成本。
三星电子半导体部门目前正在对干式光刻胶技术进行内部评估,计划率先将其应用于三星电子10纳米级第六代DRAM中。干式光刻胶技术用于半导体电路曝光工艺之前。在当前曝光工艺条件下,会在晶圆上涂抹一种对光敏感的液体光刻胶。干式光刻胶技术则无需涂抹液体光刻胶,通过化学反应在晶圆上形成一层薄膜,较涂抹液体光刻胶更薄且更均匀。此外,干式光刻胶还能更精确地刻出超微细电路,并且相较液体光刻胶的材料浪费更少。
三星电子正在考虑在10纳米级第六代DRAM的40—50层堆叠中,将干式光刻胶技术用于某一层电路的制造。此外,这项技术也将用于超微细电路的极紫外光(EUV)光刻胶。如果三星电子成功将干式光刻胶技术用于量产,将对现有光刻材料与设备生态系统产生重大影响。